샤프트 모터 정밀 스테이지 풍모 높은 정밀도 저진동 리니어 샤프트 모터 사용 오픈 프레임 구조 XY 이동 ± 75mm 스트로크 위치 결정 분해능 : 0.1 μm 고속 제어 (최대 속도 : 200mm / s) 탁월한 조용함 타일링시 매우 정확한 접착 소형 컨트롤러 드라이버 FMAX-4X-2SD 사용 가능 비디오 목록으로 돌아 가기