리니어 샤프트 모터를 채택하여 고정밀도 및 초 저진동으로 초박형 (30mm) XY 스테이지를 실현합니다.
풍모
- 초박형 스테이지 두께 30mm
- 오픈 프레임 구조
- XY 여행 45 / 30mm 스트로크
- FMAX-4X-2D 컨트롤러로 조이스틱 제어도 가능합니다.
- 위치 결정 분해능 0.05μm
- 고속 제어 Max. 속도 200mm / 초 (4Mpps에서)
- 탁월한 조용함
- 타일링 중 결합도 높은 정확도로 달성됩니다.
샤프트 모터의 특징
- 고속 작동 (택트 업)
- 고정밀 위치 결정 (완전 폐쇄 제어)
- 압도적 인 속도 안정성
- 고속 정착 (고 응답)
- 볼 스크류기구의 간편한 교체
- 하나의 샤프트로 멀티 드라이브 가능
- 단일 드라이버로 여러 동기 병렬 드라이브 가능
- 비접촉식 모터로 내구성 우수 (유지 보수 비용 절감)
- 낮은 입자 생성
- 물, 기름, 오염, 먼지 등과 같은 불리한 환경에서 사용할 수 있습니다.