4 개의 샤프트 모터를 사용한 고정밀 제어 정렬 단계. X, Y 축 직선 운동 및 θ 운동이 가능합니다.
직경 25mm의 샤프트 모터 (S250DS 모델)로 구성됩니다. 각 축에 대해 0.001μm (1nm)의 고해상도 선형 스케일을 사용하면 0.1um 이하의 반복성이 달성됩니다. (X 축 : ± 0.078μm, Y 축 : ± 0.049μm)
NPM의 PCL6045BL (LSI)과 Panasonic 드라이버를 사용하여 독립형 제어 보드를 결합하여 제어됩니다.
풍모
- 고속 드라이브 (정리)
- 고정밀 위치 결정 운전 (전폐 제어)
- 압도적 인 속도 안정성
- 빠른 정착 (고 응답)
- 모양의 유사성으로 볼 스크류 메커니즘을 쉽게 교체
- 단일 샤프트에서 여러 포스를 구동 할 수 있습니다
- 단일 드라이버가있는 동기식 병렬 드라이브
- 비접촉 구조로 내구성 우수 (유지 보수 비용 절감)
- 낮은 먼지 발생
- 물, 기름, 오염 및 먼지와 같은 열악한 환경에서 사용 가능
- 조용한