샤프트 모터 정밀 스테이지

풍모

• 높은 정밀도
• 저진동 리니어 샤프트 모터 사용
• 오픈 프레임 구조
• XY 이동 ± 75mm 스트로크
• 위치 결정 분해능 : 0.1 μm
• 고속 제어 (최대 속도 : 200mm / s)
• 탁월한 조용함
• 타일링시 매우 정확한 접착
• 소형 컨트롤러 드라이버 FMAX-4X-2SD 사용 가능